关于关闭扩散泵多久再关闭机械泵
在真空系统中，扩散泵和机械泵是常用的两种泵。由于二者的工作方式和特点不同，关闭顺序的选择很重要。
一般情况下，应该先关闭扩散泵再关闭机械泵。因为扩散泵在真空系统中负责排除大量的气体，其工作效率较高，且泵速较大。当系统内的压力下降到一定程度时，再关闭扩散泵，转而由机械泵接管。
需要注意的是，关闭扩散泵的时机取决于所需真空度的要求。一般建议在压力达到10^-2-10^-3 torr时关闭扩散泵，然后再由机械泵继续排气，直到达到所需真空度。
总结来说，根据所需真空度的要求，先关闭扩散泵再关闭机械泵是较为合理的操作步骤。
