分子泵是什么

分子泵是什么

分子泵是一种用于实现高真空的装置。它通过利用分子间的碰撞和扩散来移除气体分子，从而有效降低气体压力。分子泵通常由一个转子和一个固定的隔离器构成，转子通过高速旋转产生离心力，将气体分子排除。分子泵常用于各种实验和工业应用，如半导体制造、光学薄膜沉积和激光技术等领域。

分子泵的工作原理

分子泵的转子由多个叶片组成，当转子旋转时，气体分子由于离心力的作用将被排斥到泵的排气口。随着旋转速度的增加，气体分子的速度增加，最终超过泵的排气口的速度，并被排出系统。此过程被称为“减速原理”，它可实现高真空，达到10^-9Torr的压力范围。

分子泵的应用范围

总结：

分子泵是一种重要的高真空技术装置，通过离心力将气体分子排除，实现高真空的环境。它在半导体制造、光学薄膜沉积和激光技术等领域有广泛应用。