真空泵通常采用密封装置确保内部真空度，常见的密封形式有机械密封和动密封两种。机械密封是利用静密封面和动密封面的相对运动实现密封，常见的机械密封有干式机械密封和液环密封。
干式机械密封是通过两个平行密封面之间的相对滑动摩擦实现密封，适用于工作环境较清洁的真空泵。液环密封则是通过在密封相对运动部位注入液体实现密封，适用于工作环境较脏的情况。
动密封则是通过密封气体与环境气体之间的相对流动实现密封，常见的动密封有旋转密封和移动密封。旋转密封一般采用旋转轴与固定密封件之间的相对旋转来实现密封，可以承受较高的转速。移动密封则是通过活塞或活塞环与密封孔之间的相对运动实现密封，适用于高真空度的泵。
