为什么要分干泵和真空泵

 
为什么要分干泵和真空泵

为什么要分干泵和真空泵?

  • 段落1:干泵和真空泵在真空系统中起着重要作用。干泵可以提供高真空环境,而真空泵则负责初级吸附和预抽。将二者分开使用的主要目的是提高系统的稳定性和效率。
  • 段落2:干泵能够排除气体中的湿度和杂质,从而降低气体对系统和工艺的影响。干泵的工作原理可以有效地去除水蒸气和挥发性有机物,保证真空系统的稳定性。
  • 段落3:真空泵负责在真空系统开始运行时进行初级抽取,将大量气体抽离。真空泵常用的类型包括机械泵和分子泵,它们能够快速地降低系统内的压力,为后续工序提供稳定的真空环境。
  • 段落4:将干泵和真空泵分开使用,可以根据需要选择不同的工作模式和抽气速率,提高系统的灵活性。同时,干泵和真空泵分开运行还可以降低彼此的干扰,减少对系统和设备的损伤。
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