真空泵由以下几个组成部分：
1. 主泵：主要负责对容器内气体进行抽取和排放，常见的主泵有离心泵、旋转翼泵和涡轮泵等。
2. 驱动装置：为主泵提供动力，常用的驱动装置有电动机、气动机和液压机等。
3. 辅助装置：包括真空计、冷凝器、排气装置和滤气器等，用于监测真空度、冷凝剩余气体、排放气体和过滤杂质。
4. 密封装置：用于保持真空泵内的气密性，常用的密封装置有机械密封和气体密封等。
5. 控制系统：用于控制真空泵的启停、速度和其他工作参数的调节。
真空泵由什么组成
真空泵由以下几个组成部分：
1. 主泵：主要负责对容器内气体进行抽取和排放，常见的主泵有离心泵、旋转翼泵和涡轮泵等。
2. 驱动装置：为主泵提供动力，常用的驱动装置有电动机、气动机和液压机等。
3. 辅助装置：包括真空计、冷凝器、排气装置和滤气器等，用于监测真空度、冷凝剩余气体、排放气体和过滤杂质。
4. 密封装置：用于保持真空泵内的气密性，常用的密封装置有机械密封和气体密封等。
5. 控制系统：用于控制真空泵的启停、速度和其他工作参数的调节。
