为什么先用机械泵在用分子泵

 
为什么先用机械泵在用分子泵

机械泵与分子泵的使用顺序

为了确保高真空环境的出现,通常需要先使用机械泵再使用分子泵。

首先,机械泵被用来排除大量气体,因为它能够以高速抽取气体并产生大气压以下的真空。机械泵可以将初始气体压力降低到分子泵的工作范围内。

然后,分子泵被用来排除残留的气体和水蒸气。分子泵利用高速旋转的转子,使分子在转子表面反复碰撞并从而被排除出真空系统。

结论上述顺序的原因是:机械泵能够快速排除大量气体,从而将气体压力降低到分子泵的工作范围。然后,分子泵能进一步提供更高的真空度,消除残留气体和水蒸气,确保达到所需的高真空环境。

分享到:
赞(0)