镀膜时真空用什么测量

镀膜过程中常用的真空测量技术有：压力表、热导法、量子波速度控制方法以及质谱分析仪等。

压力表通过测量真空室内的气体压力来判断真空度。热导法则通过测量热阻或热导来间接推测出气体浓度、气体种类以及容器的真空度。量子波速度控制方法则通过测量电容、电感等物理量来测量真空度。质谱分析仪可通过检测和分析气体中的成分及其相对含量来进行真空度的测量。

这些真空测量技术可以为镀膜过程提供准确的真空度检测数据，帮助控制镀膜工艺的稳定性和成品质量。