真空泵腔体的材质
真空泵腔体通常采用高强度不锈钢材料制成，如316L不锈钢，以确保其耐压性能和抗腐蚀性。其表面通常经过精密抛光处理，以减少摩擦和泵充气成分之间的相互作用，从而提高泄漏率的控制。
另外，为了提高真空泵腔体的密封性能，还会选择特殊涂层材料来增强密封性和防腐蚀性。这些涂层通常是耐压、耐腐蚀的聚合物材料，如氟化聚合物。涂层不仅能提供额外的保护，还有助于减少摩擦和磨损。
综上所述，高强度不锈钢和特殊涂层是真空泵腔体常用的材质，它们能提供稳定的压力容纳能力和抗腐蚀性，从而保证真空泵的可靠运行。
