什么是闭式循环真空机组

闭式循环真空机组是一种用于工业生产中的真空处理设备，主要用于提供高纯度的无水、无氧气的真空环境。

该机组主要由真空泵、冷凝器、滤芯等组成。其工作原理是通过真空泵将容器中的气体抽走，然后经过冷凝器冷却、滤芯过滤等处理，最终得到纯净的真空环境。

闭式循环真空机组具有以下特点：

闭式循环真空机组广泛应用于电子、光学、化工、医药等行业，用于半导体制造、真空热处理、冷冻干燥等工艺过程中。