微米是一个长度单位,它代表微米(μm),符号为[micron],发音为[miú]。它等于1米的一百万分之一,可见微米所表示的是非常微小的尺寸。微米技术主要用于定义物理特征尺寸接近1μm(10-6m)的系统。20世纪60年代后期,研究人员实现了机械装置的小型化和批量化生产,这项技术对机械领域的进步起到了重要的推动作用,就像集成电路技术对电子领域的影响一样显著。微米技术也被称为微机电系统(MEMS),其起源可以追溯到1969年美国西屋公司设计的谐振栅-场效应晶体管。随后的十年中,一些制造商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器。